透射電鏡結構主要分為電子光學、真空系統和供電控制系統三個部分。
一、透射電鏡電子光學部分:整個電子光學部分*置于鏡筒之內,自上而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機構等裝置。根據這些裝置的功能不同又可將電子光學部分分為照明系統、樣品室、成像系統及圖像觀察和記錄系統。
1.照明系統:照明系統由電子槍、聚光鏡和相應的平移對中及傾斜調節裝置組成。它的作用是為成像系統提供一束亮度高、相干性好的照明光源。電子槍由陰極、柵極和陽極構成。在真空中通電加熱后使從陰極發射的電子獲得較高的動能形成定向高速電子流。聚光鏡的作用是會聚從電子槍發射出來的電子束,控制照明孔徑角、電流密度和光斑尺寸。
2.樣品室:樣品室中有樣品桿、樣品杯及樣品臺。
3.成像系統:成像系統一般由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。物鏡的分辨本領決定了電鏡的分辨本領,中間鏡和投影鏡的作用是將來自物鏡的圖像進一步放大。
4.圖像觀察與記錄系統:該系統由熒光屏、照相機、數據顯示等組成。
二、透射電鏡真空系統:真空系統由機械泵、油擴散泵、換向閥門、真空測量儀奉及真空管道組成。它的作用是排除鏡筒內氣體,使鏡筒真空度至少要在托以上。如果真空度低的話,電子與氣體分子之間的碰撞引起散射而影響襯度,還會使電子柵極與陽極間高壓電離產生極間放電,殘余的氣體還會腐蝕燈絲,污染樣品。
三、供電控制系統:加速電壓和透鏡磁電流不穩定將會產生嚴重的色差及降低電鏡的分辨本領,所以加速電壓和透鏡電流的穩定度是衡量電鏡性能好壞的一個重要標準。